大家好,今天小編關(guān)注到一個比較有意思的話題,就是關(guān)于山東真空鍍膜機(jī)機(jī)械泵原理的問題,于是小編就整理了5個相關(guān)介紹山東真空鍍膜機(jī)機(jī)械泵原理的解答,讓我們一起看看吧。
真空鍍膜機(jī)工作原理?
真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。
主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材。基片與靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程(散點(diǎn)-島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。典型的真空鍍膜,包括了錄像帶,數(shù)據(jù)磁帶DAT,以及很多電極的制作過程。真空鍍膜機(jī)抽真空慢是不是機(jī)械泵有故障啊?
一、擴(kuò)散泵可能不太給力。
解決辦法:可以用電離規(guī)單接到擴(kuò)散泵泵口,看擴(kuò)散泵單抽能達(dá)到多少,要看抽的時間和極限,然后進(jìn)行對比。
二、真空系統(tǒng)有微漏。
解決辦法:這就需要慢慢檢漏,看看保真空時間能不能達(dá)不達(dá)標(biāo)。
三、箱體太臟,太臟放氣量就大了。
解決辦法:清洗箱體
四、前級真空度不行,機(jī)械泵或機(jī)械泵加羅茨泵的極限真空不行。
真空鍍膜機(jī)打開主閥后抽氣抽不動怎么回事?
抽空時間相同,而真空度偏低,這時候關(guān)閉主閥,如真空計(jì)指針很快下降,多數(shù)情況是真空室漏,應(yīng)先查出漏點(diǎn)。
如真空計(jì)指針下降很慢,多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠,重點(diǎn)查找真空泵及閥門看哪里出現(xiàn)泄漏,或是擴(kuò)散泵油污染或氧化;或前級管路密封不好,泵油不足;或泵油乳化,軸封漏油等。
漏--分內(nèi)漏和外漏,較大的漏點(diǎn)可以用火焰法,利用氣流能使火焰偏離的原理,先抽上真空,比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋,會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移,則可找到漏點(diǎn)。
查找小漏和微漏:利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏,比如丙酮或乙醇,用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇,噴到漏點(diǎn)時,電離計(jì)的指針會有明顯擺動。
用這種方法檢漏一定要有耐心,一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了--也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了,然后再噴射。最好是反復(fù)幾次,確認(rèn)漏點(diǎn)。
內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上,查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn),但是卻有以下現(xiàn)象:機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。 佛欣真空希望幫到您
真空鍍膜原理?
真空鍍膜的原理是電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片.氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜.
真空鍍膜設(shè)備原理?
原理是電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞,電離出大量的氬離子和電子,電子飛向基片.氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材,濺射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉積在基片上成膜
到此,以上就是小編對于山東真空鍍膜機(jī)機(jī)械泵原理的問題就介紹到這了,希望介紹關(guān)于山東真空鍍膜機(jī)機(jī)械泵原理的5點(diǎn)解答對大家有用。