大家好,今天小編關(guān)注到一個(gè)比較有意思的話題,就是關(guān)于機(jī)械臂的控制原理的問題,于是小編就整理了3個(gè)相關(guān)介紹機(jī)械臂的控制原理的解答,讓我們一起看看吧。
機(jī)械臂的原理?
機(jī)械臂的工作原理:
一般機(jī)構(gòu)可由電力、液壓、氣動(dòng)、人力驅(qū)動(dòng)。機(jī)構(gòu)有螺紋頂緊機(jī)構(gòu)(如臺(tái)虎鉗)、斜鍥壓緊、
導(dǎo)桿滑塊機(jī)構(gòu)(破碎機(jī)常用)、利用重力的自鎖機(jī)構(gòu)(如抓磚頭的)等等。還有簡單的:如可用氣(液壓)缸直接夾緊的。如果是小物品,可直接購買FESTO等公司的氣動(dòng)手指。
油箱是裝潤滑油或液壓油循環(huán)的。
繩驅(qū)式機(jī)械臂原理?
繩驅(qū)式機(jī)械臂的原理是使用一組復(fù)雜的繩索或鏈條,結(jié)合不同類型的結(jié)構(gòu)來定義機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡。這種機(jī)械手臂可以通過外部力改變臂所***用的傳動(dòng),從而達(dá)到控制機(jī)械臂的目的。
伯努利機(jī)械手臂原理?
原理:
伯努利機(jī)械手(吸盤)就是利用了伯努利原理的機(jī)械手,機(jī)械手的噴氣口中噴出的氣體(例如氮?dú)獾榷栊詺怏w)遇到圓盤的表面(例如上表面,當(dāng)然也可以是下表面,以上表面為例陳述僅僅是示例性的)后,氣體自圓盤上表面迅速擴(kuò)散,使得圓盤上表面的氣流速度大于下表面的氣流速度,根據(jù)伯努利原理可知,此時(shí)圓盤下表面的氣壓大于圓盤上表面的氣壓,因而使圓盤被吸附在伯努利機(jī)械手上。
在晶圓加工過程中,伯努利機(jī)械手通過伯努利原理吸附晶圓,把晶圓放在具有真空吸附功能的真空卡盤上后,機(jī)械手放開晶圓。同時(shí)真空卡盤通過多孔真空吸附把晶圓吸附到真空卡盤上。工藝結(jié)束后真空卡盤停止真空吸附,伯努利機(jī)械手吸附晶圓,把晶圓從真空卡盤上取下,并帶出工藝腔室。
伯努利機(jī)械手主要用于吸附薄片小于200um厚度的晶圓,晶圓薄片脆且易碎、翹度大。在伯努利機(jī)械手將晶圓放到真空卡盤上時(shí),如果是伯努利機(jī)械手先將晶圓放到真空卡盤上,然后真空卡盤再開啟真空吸附,那么晶圓容易出現(xiàn)滑片現(xiàn)象,放置的位置出現(xiàn)偏差,影響整張晶圓的工藝效果的均勻性。如果是真空卡盤先開啟真空吸附,伯努利機(jī)械手再將晶圓放到真空卡盤上,容易導(dǎo)致晶圓的翹度增加,同時(shí)易導(dǎo)致晶圓破碎。
到此,以上就是小編對(duì)于機(jī)械臂的控制原理的問題就介紹到這了,希望介紹關(guān)于機(jī)械臂的控制原理的3點(diǎn)解答對(duì)大家有用。